MSM+ HB 是 PRIMES MicroSpotMonitor (MSM+) 系列的一個進階型號，專門用於測量具有極小光斑和極高功率密度的雷射光束。它是一款基於相機的雷射光束診斷設備，能夠在製程區域直接且精確地測量聚焦雷射光束的幾何數據和功率密度分佈，特別適合需要深入了解光束細節的應用。
什麼使得MSM+ HB如此特別？
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獨家多級衰減技術
MSM+ HB 最大的亮點在於其創新的光學設計。為了安全且精確地處理極高功率雷射，它採用了獨特的多級衰減系統，包括：
- 三個內部稜鏡： 提供主要的衰減，確保高功率雷射能量在進入後級光學系統前被有效削弱。
- 固定式 OD 濾光片（可選）： 進一步精細調整光強。
- 馬達驅動濾光輪（可選）： 配備多種中性密度濾光片，提供廣泛的衰減選擇，並可透過軟體自動調整，確保 CCD 感測器始終處於最佳曝光狀態，實現精準測量。
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專為單模光束優化
憑藉其精密的設計，MSM+ HB 能夠處理高達 500 W 的雷射功率，並在單模光束（M²<1.3）應用中提供出色的測量精度。
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微米級精準成像
系統透過高精度的測量物鏡將極小的雷射光斑放大，然後成像到 CCD 感測器上，這使得它能夠捕捉到精細的光斑結構和功率密度分佈，解析度可達數微米。
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三軸自動化掃描
設備內部的相機外殼可在 X、Y 軸上移動 2x2 mm，並沿 Z 軸移動 35 mm或 120 mm（視型號而定）。這使得 MSM+ HB 能夠執行全自動的平面測量和焦散線測量，提供光束沿傳播路徑的完整三維特性分析。
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全面的光束參數分析
搭配 PRIMES 強大的 LaserDiagnosticsSoftware (LDS)，MSM+ HB 能夠計算並顯示所有相關的雷射光束參數，包括：焦點位置 (x, y, z)、焦點半徑 (x, y)、光束品質因子 M²、原始光束直徑、光束參數積 (BPP) 和發散角。這些數據有助於診斷光學元件上的變形、像差或污染。
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高度整合與安全
設備設計精巧，可處理從紫外到近紅外的多種波長。內建的安全電路會在偵測到異常情況時（例如檢查腔室蓋打開）自動關閉雷射，確保操作安全。
誰會需要用到MSM+ HB？
PRIMES MSM+ HB高功率雷射微光斑分析儀是以下專業領域的理想選擇：
- 單模雷射製造商與整合商： 在高亮度雷射系統的開發、生產和驗證過程中，精確測量光束品質與性能。
- 精密微加工產業： 如 OLED / Mini LED 顯示器製造、醫療器械微加工、半導體缺陷修復等需要極小光斑和高精度的應用。
- 先進製程研發： 研究極端光學條件下雷射與材料的相互作用，優化新的加工製程。
- 品質管理與服務： 對於已部署的高亮度雷射系統，進行例行檢查、性能監控和故障診斷，確保製程穩定性與產品品質。
詳細規格
| MEASUREMENT PARAMETERS | MSM+ HB10 | MSM+ HB20 | |
|---|---|---|---|
| Max. laser power Single mode Multi mode |
5 kW 10 kW |
10 kW 20 kW |
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| Admissible wavelength range | 1025 nm – 1080 nm | ||
| Beam diameter | 20 µm – 1000 µm | ||
| Admissible measuring range | ± 3zR | ||
| Max. input NA | 0.11 | ||
| Max. working range z | 120 mm | 40 mm | |
| SUPPLY DATA | |||
| Power supply In standby mode |
24 V DC ± 5 %, max. 1.8 A 0.4 A |
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| Recommended cooling water flow rate Min. cooling water flow rate Cooling water temperature Tin Maximum water inlet pressure |
0.7 l/min/kW 5 l / min | 10 l / min dew-point temperature < Tin < 30 °C 4 bar |
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| Compressed air pressure Maximum pressure Specification of compressed air according |
0.5 bar – 1.0 bar 2 bar ISO 8573-1:2010 [ 6:4:4 ] |
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| COMMUNICATION | |||
| Interfaces | Ethernet, PRIMES-Bus RS485, Safety circuit | ||
| Software | LaserDiagnosticsSoftware (LDS) and Cube App | ||
| DIMENSIONS AND WEIGHT | |||
| Dimensions (L × W × H) excl. cables and plugs | 600 x 401 x 388 mm | 727 x 400 x 385 mm | |
| Focal position above base plate | 320 – 400 mm | 390 – 410 mm | |
| Weight (approx.) | 35 kg | 42 kg | |
總而言之，PRIMES MSM+ HB 以其獨特的光學設計、卓越的衰減能力和高精度測量性能，為單模和高亮度雷射的詳細光束特性診斷樹立了新的標準，是推動未來超精密雷射應用發展的關鍵工具。
